主な用途・特長

ガラス基材表面のITO（透明導電性膜）をエッチングします。

メンテナンス性を考慮した設計

駆動部の簡易洗浄ノズル管により、駆動ギアの結晶防止機能を持たせています。
薬液槽内にも洗浄スプレーを設けることで簡易な槽内洗浄が可能となり、メンテナンス性が向上します。

高い搬送性能

装置内の数か所に基板蛇行修正機構を取り入れることで、搬送性能を高めています。

装置仕様・構成例

装置寸法	9250mm×1350mm（付帯含む）
有効処理幅	400mm
基材厚み	0.3～0.5mm
搬送速度	1.2～2.0m/min