主な用途・特長

M-ITO（メタル付透明導電性膜）フィルム、ITO（透明導電性膜）フィルムの連続エッチングを行います。

低テンションでのフィルム搬送技術

RtoR（ロールtoロール）でのフィルム搬送において、テンションの掛け過ぎは基材の伸びの原因になります。弊社では中間に張力制御用の駆動を設け、一定値以上の負荷が掛からないようフィルムを搬送します。

高いスプレー効率

搬送ロールの本数を必要最小限に抑え、搬送ロールによるスプレー噴出を邪魔することなく噴出範囲を最大限確保することで、高いスプレー効率を実現しています。

装置仕様例

装置寸法	17000mm×2900mm
有効処理幅	600mm
基材厚み	0.05～0.18mm
搬送速度	1.0～5.0m/min