主な用途・特長

露光処理後のパターニング現像装置。

均一な現像処理

当社独自のスプレー配列により均一な現像処理を実現します。またスリップしづらい搬送ロールを採用していますので、製品蛇行等によるレジストへのダメージを軽減します。

高いメンテナンス性

現像チャンバーの蓋が大きく開口しますので、メンテナンス性に優れています。

装置仕様・構成例

装置寸法	5500mm×1800mm（付帯含む）
有効処理幅	500mm
基材厚み	0.06～1.0mm
搬送速度	0.5～3.0m/min