装置製作の主な実績
- RtoRポリイミドエッチング装置
- RtoR垂直搬送式Cuめっき装置
- RtoR垂直搬送式Ni-Auめっき装置
- RtoR水平搬送式Snめっき装置
- RtoR水平搬送式Cuめっき装置
- RtoR純水洗浄装置
- RtoR基材自動巻出、巻取装置
- RtoR基材レーザーマーキング装置
- RtoR基材裁断装置
- ITO(透明導電性膜)向けガラス基板洗浄装置
- ITO(透明導電性膜)フィルムエッチング装置
- ITO(透明導電性膜)ガラスエッチング剥離装置
- ITO(透明導電性膜)用表面処理装置
- 枚葉ブラシ研磨装置
- 枚葉化学研磨装置
- 枚葉シードエッチング装置
- 枚葉基材自動投入、受取装置
- 枚葉基材合紙投入、取出装置
- 極薄FPC用化学研磨装置
(筺体製作:海外メーカー、搬送系製作:TOA)
- 開発向けスイングオシレーションエッチング装置
- 酸洗装置、ブラシ研磨装置
- 化学研磨装置
- めっき処理(FPC、TAB、COF、BGA)
- 半導体ウェハー用表面処理装置
- DESライン(現像、エッチング、剥離)
- PCB用化学整面装置
- SUSエッチング装置
- TAB用純水洗浄装置
- TAB用エンボスセパレーター洗浄装置
- 縦型現像・エッチング装置
- 工業用刃物向けエッチング装置
- 研究所向け試作エッチング装置
- FPC向け粉塵対策乾燥機
- コンベアー式乾燥炉、リフロー炉
- BOX型乾燥炉、クリーニング装置
- 真空攪拌機、露光装置、自動穴あけ装置
- 早送りコンベアー、Uターンコンベアー
- 自動薬液管理装置及びシステム